具有优异低温强度和韧性的高熵合金（HEAs）在极端工程应用中至关重要，然而其在超低温下的变形机制仍未被完全理解。本文报道了在4.2 K拉伸载荷下，CrMnFeCoNi高熵合金的非晶带内出现的两种由变形诱发的非晶化和纳米晶化现象。与位错驱动的非晶化（形成纳米级非晶带，即纳米ABs，厚度>5纳米）不同，超纳米级非晶带（SN-ABs，厚度<5纳米）是在极端局部剪切局域化作用下通过晶格畸变形成的，而非位错累积。同时，塑性变形产生的局部加热会引发纳米ABs内部的纳米晶化，生成随机取向的纳米晶粒。这种非晶化和纳米晶化现象有望通过耗散应变能和阻碍剪切局域化，为高熵合金提供一种额外的增韧机制。关键的是，我们建立了低温锯齿状流动行为与热机械不稳定性之间的微观结构联系：应力降和应变爆发与热诱导的相变以及纳米ABs/SN-ABs的形成相关。